如何對電子廠淨化工程潔淨度進行檢測
2022-04-21

在對車間進行潔淨度檢測時,檢測電子廠淨化工程潔淨度方法,趕緊來閱讀!

一、檢測儀器的選擇

對於無塵淨化車間潔淨度的測量,可以使用淨化工程光散射粒子計數器、凝聚核粒子計數器、電子顯微鏡和光學顯微鏡。由於這種粒子計數器可以自動、連續、及時地測量使用中室內空氣的含塵量,並能直接顯示瞬時含塵濃度,因此還可以測量不同粒徑的含塵濃度。簡單、方便、及時、靈活。

2、檢測點

根據標準,檢測淨化車間潔淨度時,檢測點應在距室內地麵水平麵1.00m以內;單向流式無塵淨化車間,測點總數不應少於20個,測點間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測點僅無布置;非單向流式無塵淨化車間按無塵淨化車間麵積小於等於50m2布置5個測點。

3、關於等速采樣

等速采樣是指在檢測過程中,粒子計數器的采樣管入口方向與被采樣單向氣流的方向一致,進入采樣管入口的空氣平均流速與該位置單向氣流的平均速度。

因為淨化工程的檢測主要關注兩種粒徑,即0.5um和5um。等速采樣對≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用於計算大於或等於 0.5um 的粒徑濃度,如果這些粒子不受等速條件的影響,則計算結果不受影響。因此潔淨室區域非等速采樣隻對大於等於0.5um的顆粒有意義。

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